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特種氣體的介紹

特種氣體用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，特種氣體廠家，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。

特種氣體在進(jìn)樣中的注意事項(xiàng)

樣品氣的置換，由于特種氣都要經(jīng)過減壓器和管線后才能取樣，無錫特種氣體，要準(zhǔn)確取樣必須將減壓器和管線進(jìn)行充分的置換，工業(yè)特種氣體，這種置換不是簡(jiǎn)單意義上的吹掃。因?yàn)闇p壓器的死體積很大，不斷將鋼瓶閥打開關(guān)閉反復(fù)3次以上，特種氣體多少錢，每次將減壓器里的氣體排盡，然后再吹掃系統(tǒng)才能正確取樣。進(jìn)樣管線的氣密性，進(jìn)樣管線的泄漏，對(duì)樣品的數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性有很大影響，對(duì)低濃度氧氣的影響更大。所以一定要嚴(yán)格檢查取樣管線的氣密性。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。

其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→用氣點(diǎn)

分類

特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易1燃易1爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。

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